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 ISO/TC112/WG1 

工作組會(huì )議由WG1召集人，德國萊寶的Magnus Janicki博士主持，16名來(lái)自德國、日本、中國的專(zhuān)家學(xué)者，以及真空泵制造商代表參加了會(huì )議。ISO/TC 112（真空技術(shù)）秘書(shū)長(cháng)Juergen Eisenreich列席會(huì )議。

我國北京衛星環(huán)境工程研究所孫立臣研究員、東北大學(xué)劉坤教授、浙江真空設備集團有限公司許濤總工、中科院沈陽(yáng)科儀股份有限公司研發(fā)中心袁方副主任、北京衛星環(huán)境工程研究所孫偉、趙月帥，以及全國真空技術(shù)標準化技術(shù)委員會(huì )王玲玲副秘書(shū)長(cháng)等參加了視頻會(huì )議。

會(huì )議由ISO/TC112秘書(shū)長(cháng)Juergen Eisenreich負責會(huì )議記錄，并編制會(huì )議決議。

首先，秘書(shū)長(cháng)Juergen Eisenreich向與會(huì )專(zhuān)家介紹了目前ISO/TC 112/WG1注冊專(zhuān)家情況，隨后向與會(huì )專(zhuān)家征詢(xún)了對會(huì )議議程的意見(jiàn)，經(jīng)確認后，宣布會(huì )議正式開(kāi)始。

本次會(huì )議共討論了“非蒸散型吸氣劑泵”和“低溫泵”兩項ISO標準工作組草案。

會(huì )議中主要針對WD階段日本專(zhuān)家提出的9條意見(jiàn)開(kāi)展討論，討論焦點(diǎn)集中在增加術(shù)語(yǔ)“Ultimate operational pressure”、冷卻時(shí)間測量、盲板法蘭是否使用等問(wèn)題上。

會(huì )中，中、日、德三方專(zhuān)家針對上述問(wèn)題開(kāi)展了討論，中方專(zhuān)家亦對日方意見(jiàn)中增加測量方式的可操作性提出了質(zhì)疑，并希望日方專(zhuān)家能對此給出數據進(jìn)行論證。

同時(shí)，德方專(zhuān)家也對日方專(zhuān)家提出的概念和以AVS標準作為參考依據的思路提出質(zhì)疑，因為本標準自身性質(zhì)為ISO標準，在標準效力和應用范圍上要遠高于A(yíng)VS標準，應充分考量技術(shù)的實(shí)際發(fā)展和應用情況。

經(jīng)過(guò)多輪討論后，確定兩條技術(shù)意見(jiàn)將留待CD階段，由日方專(zhuān)家進(jìn)一步補充論據后再繼續討論。其他意見(jiàn)中方專(zhuān)家部分性地接受，后續將依此修改CD草案。

本次會(huì )上，中日雙方專(zhuān)家的討論非常激烈，日方專(zhuān)家對此項目亦格外重視！日本國內，由日本真空工業(yè)會(huì )牽頭，組織愛(ài)發(fā)科（ULVAC）低溫泵有限公司、日本住友重機械工業(yè)株式會(huì )社、日本佳能等公司的專(zhuān)家于會(huì )前多次研討，并專(zhuān)程參會(huì )討論此項草案，旨在力爭將日方的意見(jiàn)納入到低溫泵草案中，以維護日方企業(yè)在半導體產(chǎn)業(yè)中的利益。

隨著(zhù)第四次工業(yè)革命推動(dòng)全球化進(jìn)入新階段，“中國制造”與世界經(jīng)濟的融合進(jìn)一步加快，制造業(yè)成為中國參與經(jīng)濟全球化的主要領(lǐng)域，而標準在其中發(fā)揮著(zhù)重要作用，可為企業(yè)架起通往市場(chǎng)的橋梁。當前，標準對產(chǎn)業(yè)發(fā)展、全球貿易的影響力日益凸顯，希望中國低溫泵生產(chǎn)企業(yè)后續能積極加入到該項目的制定工作中，自標準制定之初，切實(shí)維護中國企業(yè)的利益，努力珍惜這得來(lái)不易的話(huà)語(yǔ)權，進(jìn)一步助力中國主導標準的制定和發(fā)展。

該草案在WD階段共收獲反饋意見(jiàn)54條，中國代表團共提出33條意見(jiàn)，3條中方所提意見(jiàn)此次會(huì )議中未達成協(xié)商一致。日方表示將征詢(xún)生產(chǎn)商的意見(jiàn)或進(jìn)行試驗分析，進(jìn)而在CD階段繼續討論。同時(shí)該草案亦采納了德國聯(lián)邦技術(shù)物理研究院（PTB）Karl Jousten博士的大量意見(jiàn)和建議。

該項目WD草案在國內僅收到了來(lái)自東北大學(xué)、浙江真空設備集團有限公司和中科院沈陽(yáng)科儀股份有限公司的技術(shù)性意見(jiàn)。國內其他生產(chǎn)企業(yè)參與意識薄弱，沒(méi)有意識到從標準制定之初就解決掉卡脖子問(wèn)題的重要性，也沒(méi)有注意到標準發(fā)布實(shí)施后被動(dòng)跟跑?chē)馄髽I(yè)的壓制性。