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羅茨真空泵又稱(chēng)機械增壓泵,是一種旋轉式容積真空泵。二個(gè)8字型轉子與泵腔保持一定的間隙,通過(guò)一對同步反向旋轉齒輪使二個(gè)轉子在泵腔內旋轉時(shí)互相不接觸并保持一定間隙。右圖為泵的結構原理圖,從圖Ⅰ至Ⅳ為轉子在泵腔內旋轉并完成一次吸、排氣的過(guò)程。
羅茨真空泵的優(yōu)點(diǎn)是在較低入口壓力時(shí)仍具有較大抽氣速率,但羅茨真空泵不能單獨使用,必須與前級真空泵配套使用。當前級真空泵將系統壓力抽到羅茨真空泵允許啟動(dòng)壓力時(shí),才可啟動(dòng)羅茨真空泵。
根據不同的工作壓力和工藝條件,羅茨真空泵的前級真空泵可采用油封式機械真空泵、液環(huán)式真空泵、往復式真空泵等。配置不同類(lèi)別的前級真空泵后羅茨真空泵所能達到的極限壓力有所不同。
羅茨真空泵可廣泛應用于需要大抽速和中等真空(10-1 -10-2Pa)的任何真空系統中,例如: 真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、燈管及燈泡制造、激光器制造、真空包裝設備、汽車(chē)制造業(yè)、集中真空抽氣系統、各類(lèi)化工處理、真空脫汽 、真空除汽、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。
1,抽氣速率系指在配用推薦前級泵的條件下,羅茨真空泵的入口壓力在67 pa~2.67 pa范圍內所測得的抽氣速率。
2,極限壓力系指在配用推薦前級泵的條件下,不帶任何附加容器、泵口密閉不進(jìn)氣,經(jīng)過(guò)充分抽氣后用壓縮式真空計在泵進(jìn)氣口處測得的穩定的空氣分壓力的低值。
3,上表各性能是在配用推薦前級泵的條件下獲得的,用戶(hù)可根據不同情況,選用不同的前級真空泵,但其主要性能指標會(huì )有所變化。